Silīcija strukturālā vafele

Silīcija strukturālā vafele

Šī strukturālā silīcija plāksnīšu sērija ir izstrādāta, lai nodrošinātu bezkompromisu mehānisku pamatu sarežģītām ierīču arhitektūrām. Optimizēts visā rūpnieciskajā spektrā no2 collu (50 mm) līdz 12 collu (300 mm), šie substrāti darbojas kā augstas{0}}uzticamības resursdators, kas paredzēts, lai mazinātu fiziskos kropļojumus un saglabātu absolūtu ģeometrisko saskaņotību visprasīgākajās ražošanas vidēs.

Izcila deformācijas izturība:Vafele ir konstruēta tā, lai tā izturētu elastīgas un plastiskas deformācijas liela ātruma-robotiskas apstrādes un precīzas vakuuma patronas laikā. Šī struktūras stingrība nodrošina to, ka kritiskie izmēri paliek neskarti, novēršot mikro- deformāciju, kas var izraisīt litogrāfisku novirzi vai savienojuma kļūmes.

Termomehāniskā stabilitāte:Izstrādāts, lai izdzīvotu sodīšanas laikāsiltuma budžeti, materiāls saglabā savu formu un līdzenumu, veicot atkārtotus augstas -temperatūras oksidācijas un ātrās termiskās atlaidināšanas (RTA) ciklus. Samazinot režģa slīdēšanu un termisko -izraisīto spriegumu, substrāts atbalsta stabilu ražošanuJaudas IC (IGBT/MOSFET) un MEMSierīces.

Konsekventa ģeometriskā precizitāte:Mūsu sistemātiskā kontrole pārKopējā biezuma variācija (TTV)un priekšgala/velku parametri nodrošina, ka katra partija nodrošina paredzamu strukturālo darbību. Šī konsekvence nodrošina plašāku procesa logu ķīmiskās -planarizācijas (CMP) un sausās kodināšanas laikā, kas tieši korelē ar izturīgākuvafeļu -līmeņa raža (WLY)rūpnieciskai{0}}elektronikai.

Populāri tagi: silīcija strukturālo vafeļu, Ķīnas silīcija strukturālo vafeļu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca